Régulateur de vide
Vanne de régulation de vide série IRV
La vanne de régulation de vide de la série IRV est un composant essentiel dédié au contrôle dynamique de la pression des systèmes de vide. Grâce à une conception structurelle précise, il réalise un contrôle stable et un ajustement automatique de la pression de fonctionnement du système, garantissant ainsi la fiabilité et la répétabilité de l'environnement du processus sous vide.
▸Principe fonctionnel de base
Basé sur un équilibre de force et un mécanisme de rétroaction, il utilise des éléments sensibles pour détecter les changements de pression du vide, entraîne l'ouverture de la vanne pour un ajustement adaptatif, réalise un étranglement dynamique du débit de gaz et maintient la valeur de pression prédéfinie du système.
▸Caractéristiques structurelles et avantages
Le soufflet métallique ou la structure spéciale d'étanchéité à membrane est utilisé pour éviter complètement le risque de fuite causé par les joints d'étanchéité traditionnels et garantir la stabilité d'étanchéité à long terme dans les environnements de vide poussé. Le corps de valve de coulée intégré renforce la rigidité et réduit les interférences vibratoires.
▸Adaptabilité des conditions de travail
Les matériaux intégrés résistants à la corrosion et les options spéciales de traitement de surface sont compatibles avec les gaz de traitement corrosifs et les environnements particulaires. La conception à large plage de réglage de la pression peut couvrir les besoins de contrôle de pression à plusieurs gradients, du vide grossier au vide moyen et poussé.
▸Compatibilité d'intégration du système
L'interface à bride standard correspond aux spécifications traditionnelles des chambres à vide et l'interface électrique prend en charge les signaux analogiques ou les protocoles de communication numériques, ce qui est pratique pour accéder aux systèmes de contrôle PLC ou centraux afin d'obtenir un contrôle en boucle fermée à distance et de simplifier le processus d'intégration des lignes de production automatisées.
▸Scénarios d'application typiques
Il est largement utilisé dans le dépôt de couches minces de semi-conducteurs, les fours de brasage sous vide, le revêtement optique de précision, la stérilisation des dispositifs médicaux et d'autres liens de processus sensibles à la stabilité de la pression, et est souvent utilisé conjointement avec des jauges à vide pour former un système de contrôle de pression de haute précision.
▸Valeur fondamentale de l'exploitation et de la maintenance
La conception modulaire réduit la complexité de la maintenance et les composants clés peuvent être remplacés indépendamment. Par rapport aux vannes manuelles, elle améliore considérablement la cohérence du processus, améliore indirectement le rendement du produit et réduit les pertes d'énergie en réduisant les fluctuations de pression.







